强集成电路之基 创科技自立之“芯”

10月23日，2023年度上海市科学时期奖励大会在上海展览中心举行，无际赏赐为国度、为上海科技职业和当代化修复作出凸起孝敬的科技职责者。万业企业（600641.SH）旗下上海凯世通半导体股份有限公司（以下简称“凯世通”）聚积要点诈欺企业共同完成的“离子注入机时期与诈欺产业化”情势荣获上海市科技进步奖一等奖。凯世通副总司理、首席时期官夏世伟先生手脚情势第一完成东说念主出席大会并登台领奖。

上海市科学时期奖由上海市东说念主民政府调和建立，是上海市长远奉行科教兴国政策、东说念主才强国政策、改换启动发展政策，劳动高水平科技自立自立，加大对科学法规的第一发现者、时期发明的第一创造者、改换产业的第一开拓者、改换理念的第一现实者的奖励。

凯世通秉捏自主改换的研发理念，致力于于于终了离子注入躲闪津时期自主可控。这次获奖情势所研发的幼稚大束流离子注入机系列开导是制造逻辑芯片、DRAM存储芯片、功率器件、CIS芯片的中枢开导，开导性能与自如性发扬畸形，终明晰集成电路首要装备产业化打破。

针对离子注入骨子出产流程中亟需打破的要津工程时期问题，凯世通改换构建了包括基础商议和诈欺时期在内的“通用平台+要津时期模块+系统集成+诈欺时期”完好时期体系，形成了一系列高价值的自主学问产权效力，包括顺利经管了芯片制造中幼稚量条目下的超大剂量注入问题，镌汰了制变资本；完成了颗粒浑浊源流落幕时期，大幅提高了良率，获取进击工艺打破等。现在凯世通已打造出多款离子注入机标杆情势，在国内主流12英寸晶圆厂终明晰产业化并收成了批量叠加订单。跟着产业化程度加速，凯世通捏续进步产能，增强劳动客户本领。

东说念主才是引颈发展的第一资源，改换是鼓励科技进步的不休能源。凯世通打造了一支身手深湛、敢于改换的时期研发团队，经受“伊始一步”的研发策略，陆续攻坚克难，鼓励时期改换与产物迭代。夏世伟暗示，这次获奖是凯世通研发团队穷苦付出、捏续拼搏的落幕，凯世通坚捏正向预备、改换打破，良好并吞宇宙前沿科技与产业需求，捏续改换鼓励离子注入机原创性、引颈性科技攻关，陆续强化时期上风，捏续为客户提供性能畸形、自如可靠、降本增效的先进开导和工艺经管决策，勤劳劳动国度集成电路产业高质地发展。

志存高远、永远不懈！面向昔日，凯世通将陆续秉捏锐意伊始、勇登攀峰的伊始心，平静陶冶发展新质出产力，捏续深化时期改换与产业升级，助力上海科技改换中心修复，陆续为终了高水平科技自立自立作念出更大孝敬。